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PROUCTS LIST
Neodry 15E日本樫山工业kashiyama真空泵工作原理：
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
产品详细描述如下：
旧シリーズに比して、騒音値、軽量化が更に計られています。
*気密構造を採用し、信頼性を向上しています。?
省エネ化を計りました。（旧シリーズに比して消費電力20%低減を実現。（NeoDry15E））?
式样：?
項目 NeoDry 15E NeoDry 30E NeoDry 36E 備考?
Z大排気速度 (L/min) 250 500 600
到達圧力 (Pa) ≦1.0
Z大吸気口圧力 大気圧
接続口径 吸気口 NW25 NW40
排気口 NW25
電動機定格出力 (kW) 0.4 0.75
電源 (50/60Hz) *1 単相：100～115V?
単相：200～240V?
三相：200～240V
ガスバラスト機構 *2 有り（N2導入可） 凝縮性ガス排気時?
Z大水蒸気処理量 *3 250g/h 350g/h
騒音値 (dB(A)) ≦56 ≦58 全閉運転時?
質量 (kg) *4 23（▲12%） 25（▲14%） 54（▲7%）
その他 本ポンプは、*気密構造を採用しています?
1 本電源以外のご要求につきましては、別途 ご相談下さい。?
2 ガスバラスト機構は、オプション仕様となります。?
3 ガスバラストバルブ(オプション)全開時のZ大処理量です。?
4 （ ）内は、旧仕様に対して改善の計られている割合です。
仕様 / 型式NeoDry7ENeoDry15ENeoDry30ENeoDry36ENeoDry60ENeoDry300E
Z大排気速度
[L/min]1102505006001,0005,000
到達圧力 [Pa]
（ガスバラスト機構未使用時）5.01.00.3
電源電圧
(50/60Hz)?*1単相AC100～120V
単相AC200～240V単相AC100～120V, 単相AC200～240V
3相AC200～240V単相AC200～240V
3相AC200～240V
ガスバラスト機構標準採用オプションで設定可能（N2導入可）標準採用
Z大水蒸気処理量[g/h]
（ガスバラスト機構使用時）120250350600
騒音値 [dB(A)]
（吸気口全閉時）≦56≦58≦60≦72
振動値 [μmp-p]
（吸気口全閉時）≦8
質量 [kg]1923255456125
吸気口径NW25NW40NW50
排気口径NW25
外観寸法 [mm]
W*H*L?*2W:196
H:219
L:360W:210
H:250
L:385W:210
H:250
L:410W:298
H:275
L:475W:315
H:275
L:530W:304
H:575
L:574
*1. 本電源以外のご要求につきましては、別途ご相談下さい。 *2. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*3. 本体価格となります。オプション価格は別途ご相談下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、上記に関しては予告なく変更される可能性があります。
KASHIYAMA工业自1946年创建以来，持续不断拓展业务以应时代的需求，是秉着用户至上的信念走过来的。特别
是在真空泵领域上，KASHIYAMA工业坚持不懈地研究,不断地创造出xian进的高科技产品。
KASHIYAMA工业提供的真空泵及真空设备被应用在广泛的高科技领域当中，其中包括半导体制造业和液晶显示制
造行业，产品在半导体制造领域和xian进的高科技行业中已经荣获了J高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行
业的信赖，这是KASHIYAMA工业多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在J高难度的制程
发挥上获得了客户的高度信赖与评价。除了干式真空泵以外，鲁式及排气组合式真空泵设备在广泛的领域当中发挥
它的威力。
KASHIYAMA工业将本着致力于为顾客创造开发的精神，面对日趋复杂化的未来需求。
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
结构
（1） 泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
（2） 泵的传动方式
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
