美国霍尼韦尔Honeywell气流传感器行业标准

含*微结构技术，对空气或其他气体的流量、数量/方向提供敏感和快速回应。

所有气体质量流量传感器均通过热交换运行——流动和压差。硅芯片设计源自薄膜、隔热桥结构，包含加热和热敏组件。这可以对空气或气体流量和方向作出快速响应，提供相应的输出电压。放大型能提供更强的输出信号和更少的外部电路，而未放大型可选择更多的外部电路。

霍尼韦尔提供：

*的芯片设计、制造工艺和微结构技术

加快响应时间并实现更低的功耗

多种端口类型，提供更高的应用灵活性

霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。

Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM

标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范围供您选择。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在经校准的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的温度范围内进行补偿。基于 ASIC 的补偿能实现数字 (I2C) 输出和 1 ms 的响应时间。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM

标准流量范围可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。还提供自定义流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

HAF HAF 系列可以对0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的温度范围做出补偿，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的温度范围中工作。基于 ASIC 的补偿能实现数字 (I2C) 输出和 1 ms 的响应时间。

这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

Zephyr 传感器可以为客户提供增强的可靠性、高准确度、可重复测量等性能，并且能够定制传感器以满足许多具体的应用要求。坚固外壳和稳定基底相结合使得这些产品极其坚固耐用。它们的设计与制造符合 ISO 9001 标准。

放大气体质量流量传感器

HAF 系列 - 高流量

补偿式。±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模拟或数字输出。10 SLPM 至 300 SLPM - 数字输出