美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀工作原理

美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀产品解析：

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列

零件#: SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上先进的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.

SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀特点和优势:

市场:

半导体

分析试验室

航空航天

工业

有C 和 W密封贴面安装1-1/8

和1-1/2

阀体尺寸

极低粒子数

束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口压力范围： -10 psig 到 60 psig

内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理

工作压力范围：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀应用:

腐蚀性和特殊气体

半导体工具

工具挂钩

气体柜

阀组箱 (VMB)

美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀及其工作原理:

在现代工业生产及高科技领域中，对于气体或液体介质的纯净度和压力控制有着要求。超高纯束缚膜片减压阀作为一种精密的流体控制设备，以其结构和性能，在半导体制造、生物制药、精密仪器及高纯气体供应系统等领域得到了广泛应用。本文将详细介绍超高纯束缚膜片减压阀及其工作原理。

一、超高纯束缚膜片减压阀概述

超高纯束缚膜片减压阀是一种专门设计用于控制超高纯度气体或液体压力的设备。它采用特殊材料制成，以确保流体的纯净度不受污染，并且具有减压精度和稳定性。这种减压阀通过精确调节膜片的运动来控制管道内流体的压力，使其保持在设定的安全范围内，防止因压力过高导致的设备损坏或流体泄漏。

二、超高纯束缚膜片减压阀的结构

超高纯束缚膜片减压阀主要由主体、弹簧、阀芯、束缚膜片及连接部件等构成。其中，主体作为阀门的外壳，采用耐腐蚀、易清洁的材料制成，以确保流体的纯净度。弹簧提供恒定的压力，用于对抗流体压力，并通过调节其紧度来控制减压精度。阀芯是调节流通截面积的关键部件，通过移动来改变流体流速。束缚膜片则是感应压力变化并传导给阀芯的重要部件，其材质需具备高弹性、耐腐蚀和耐磨损等特性。

三、超高纯束缚膜片减压阀的工作原理

超高纯束缚膜片减压阀的工作原理基于压力平衡和膜片变形原理。具体来说，当管道内的流体压力超过设定值时，弹簧会推动阀芯向关闭方向移动，减小流体通过的截面积，从而降低流速和压力。这一过程中，束缚膜片作为感应元件，感知到压力变化并作出相应变形，将信号传递给阀芯。反之，当压力低于设定值时，弹簧会使阀芯向开启方向移动，增大流体通过的截面积，提高流速和压力，从而维持管道内流体的压力稳定。

在超高纯束缚膜片减压阀中，束缚膜片的设计尤为关键。它不仅需要具有高度的灵敏度和准确性，还需要能够耐受高纯度流体中的腐蚀性物质，以保证长期稳定运行。此外，为了确保流体的纯净度，减压阀内部的所有部件均经过特殊处理，以减少对流体的污染。

四、超高纯束缚膜片减压阀的应用优势

1. 超高纯度：采用特殊材料和工艺制成，确保流体的纯净度不受污染。

2. 高精度减压：通过精确调节膜片的运动和弹簧的紧度，实现高精度的减压控制。

3. 稳定性强：结构紧凑、设计合理，能够在各种恶劣环境下稳定运行。

4. 易于维护：一体式阀芯设计，便于抽取进行清洗或更换，降低维护成本。

5. 广泛适用性：适用于半导体制造、生物制药、精密仪器及高纯气体供应系统等多个领域。

五、美国派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀结论

超高纯束缚膜片减压阀作为现代工业生产及高科技领域中的重要流体控制设备，以其结构和性能，在保障流体纯净度和压力稳定方面发挥着不可替代的作用。随着科技的进步和工业的发展，超高纯束缚膜片减压阀将继续在更多领域得到应用和推广，为行业的发展和进步贡献力量。