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简要描述:parker膜片减压阀SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。
产品型号:SMSQ2MICRO30102
所属分类:parker阀
更新时间:2023-09-23
parker膜片减压阀产品描述:
派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上*的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制,提高了MFC(质量流量控制器)的性能,这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成,以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.
减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计,提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹,这样大限度减少粒子生成和截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合,使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命,入口压力高达250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口,符合SEMI模块化接口规范.
SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和应用市场:
半导体
分析试验室
航空航天
工业
SMSQ2MICRO30102膜片减压阀特点和优势:
? 有C 和 W密封贴面安装1-1/8
parker膜片减压阀性能特点
阀体材料洁净316L不锈钢
压缩构件材料洁净316L不锈钢
隔膜材料哈氏合金 C-22
阀芯材料哈氏合金 C-22
阀座材料PCTFE
帽材料铜镀镍
螺母材料不锈钢
旋钮材料ABS (蓝) (SMSQ2Micro)ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
爆破压力750 psig (52 barg)
可承受压力375 psig (26 barg)
流速Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
内部泄漏率< 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率< 2 x 10-10 cc/sec He
体积0.08 cm3
重量0.9 lb0.42 kg
表面处理5微英寸粗糙度
大入口额定压力250 psig / 17 barg
出口额定压力-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
高运行温度66 °C150 °F
低运行温度-40 °C-40 °F
SMSQ2MICRO30102膜片减压阀工作原理:
减压阀是气动调节阀的一个配件,主要作用是将气源的压力减
压并稳定到一个定值,以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制。 按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式;按阀座数目可分为单座式和双座式;按阀瓣的位置不同可分为正作用式和反作用式。
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